技術(shù)背景
半導體行業(yè)作為我國新出現(xiàn)并快速發(fā)展的一個生產(chǎn)行業(yè),主要應(yīng)用于電子機械制造中,對我們經(jīng)濟發(fā)展具有重要的支撐作用。目前半導體行業(yè)生產(chǎn)廢水主要有三大類,分別是含氟廢水、含銅廢水以及含氨廢水,三類廢水因為水質(zhì)復雜、污染物含量高,對環(huán)境均具有較為嚴重的影響,加強半導體生產(chǎn)廢水的處理是企業(yè)急需解決的環(huán)保難題。
技術(shù)特點
針對半導體生產(chǎn)廢水的特征污染物和處理要求,中國煤科杭州研究院提出分類收集、分質(zhì)處理、達標排放的治理思路和配套工藝,具體而言,對含氟磷廢水采用多級梯度式同步除氟去磷強化預處理技術(shù);對高氨氮廢水采用高效絮凝澄清預處理;對電鍍含銅廢水采用序批式物化澄清過濾強化處理,三股廢水預處理后采用調(diào)質(zhì)與復合反硝化耦合高密度生物增濃技術(shù),實現(xiàn)各類污染物分級深度全流程去除,系統(tǒng)具有良好的耐沖擊能力和運行穩(wěn)定性。
典型案例
中國煤科杭州研究院已將半導體生產(chǎn)廢水成套技術(shù)與裝備應(yīng)用于多個同類廢水處理工程中,如浙江某半導體有限公司400m3/d半導體廢水處理工程,項目涉及整個污水處理廠工程設(shè)計、設(shè)備采購、非標設(shè)備制作、安裝、工程調(diào)試及技術(shù)服務(wù),屬EPC交鑰匙工程,廢水經(jīng)物化和生物脫氮處理后實現(xiàn)達標排放,氨氮<30mg/L。
浙江某半導體有限公司半導體生產(chǎn)廢水處理工程,處理能力400m3/d