技術(shù)背景
半導(dǎo)體行業(yè)作為我國(guó)新出現(xiàn)并快速發(fā)展的一個(gè)生產(chǎn)行業(yè)，主要應(yīng)用于電子機(jī)械制造中，對(duì)我們經(jīng)濟(jì)發(fā)展具有重要的支撐作用。目前半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)廢水主要有三大類，分別是含氟廢水、含銅廢水以及含氨廢水，三類廢水因?yàn)樗|(zhì)復(fù)雜、污染物含量高，對(duì)環(huán)境均具有較為嚴(yán)重的影響，加強(qiáng)半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水的處理是企業(yè)急需解決的環(huán)保難題。
技術(shù)特點(diǎn)
針對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水的特征污染物和處理要求，中國(guó)煤科杭州研究院提出分類收集、分質(zhì)處理、達(dá)標(biāo)排放的治理思路和配套工藝，具體而言，對(duì)含氟磷廢水采用多級(jí)梯度式同步除氟去磷強(qiáng)化預(yù)處理技術(shù)；對(duì)高氨氮廢水采用高效絮凝澄清預(yù)處理；對(duì)電鍍含銅廢水采用序批式物化澄清過濾強(qiáng)化處理，三股廢水預(yù)處理后采用調(diào)質(zhì)與復(fù)合反硝化耦合高密度生物增濃技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各類污染物分級(jí)深度全流程去除，系統(tǒng)具有良好的耐沖擊能力和運(yùn)行穩(wěn)定性。
典型案例
中國(guó)煤科杭州研究院已將半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水成套技術(shù)與裝備應(yīng)用于多個(gè)同類廢水處理工程中，如浙江某半導(dǎo)體有限公司400m3/d半導(dǎo)體廢水處理工程，項(xiàng)目涉及整個(gè)污水處理廠工程設(shè)計(jì)、設(shè)備采購(gòu)、非標(biāo)設(shè)備制作、安裝、工程調(diào)試及技術(shù)服務(wù)，屬EPC交鑰匙工程，廢水經(jīng)物化和生物脫氮處理后實(shí)現(xiàn)達(dá)標(biāo)排放，氨氮＜30mg/L。
浙江某半導(dǎo)體有限公司半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水處理工程，處理能力400m3/d
